aħbarijiet

It-teknoloġija tal-qtugħ tal-wajer tad-djamanti hija magħrufa wkoll bħala teknoloġija tal-qtugħ li joborxu. Huwa l-użu ta 'metodu ta' twaħħil elettroplating jew tar-reżina ta 'brix tad-djamanti konsolidat fuq il-wiċċ tal-wajer tal-azzar, wajer tad-djamanti li jaġixxi direttament fuq il-wiċċ ta' virga tas-silikon jew ingot tas-silikon biex jipproduċi tħin, biex jinkiseb l-effett tal-qtugħ. Il-qtugħ tal-wajer tad-djamanti għandu l-karatteristiċi tal-veloċità tal-qtugħ mgħaġġel, eżattezza għolja tal-qtugħ u telf ta 'materjal baxx.

Fil-preżent, is-suq tal-kristall uniku għall-wajer tal-wajer tad-djamanti tal-wafer tas-silikon ġie aċċettat bis-sħiħ, iżda ltaqa 'wkoll fil-proċess tal-promozzjoni, li fosthom l-abjad tal-bellus huwa l-iktar problema komuni. Fid-dawl ta 'dan, din il-karta tiffoka fuq kif tipprevjeni l-wajer tad-djamanti li jaqtgħu problema bajda tal-bellus tal-wejfer monokristallin.

Il-proċess tat-tindif tal-wajer tal-wajer monokristallin tal-wajer tad-djamanti huwa li tneħħi l-wejfer tas-silikon maqtugħ mill-għodda tal-magna tas-serrieq tal-wajer mill-pjanċa tar-reżina, neħħi l-istrixxa tal-gomma, u naddaf il-wejfer tas-silikon. It-tagħmir tat-tindif huwa prinċipalment magna tat-tindif ta 'qabel (magna li tiddeguxxa) u magna tat-tindif. Il-proċess ewlieni tat-tindif tal-magna tat-tindif minn qabel huwa: l-isprej tal-isprej-ultrasoniku li jnaddaf it-tlaħliħ tal-ilma li jitnaddaf. Il-proċess ewlieni tat-tindif tal-magna tat-tindif huwa: l-ilma li jlaqqam l-ilma li jlaħlaħ l-ilma-alkali tal-ħasil tal-ħasil tal-ħasil tal-ħasil tal-ħasil tal-ħasil tal-ilma li jlaqqam l-ilma-pre-de-de-de-de-(irfigħ bil-mod).

Il-prinċipju ta 'teħid ta' bellus ta 'kristall wieħed

Il-wejfer tas-silikon monokristallin huwa l-karatteristika tal-korrużjoni anisotropika tal-wejfer tas-silikon monokristallin. Il-prinċipju tar-reazzjoni huwa l-ekwazzjoni ta 'reazzjoni kimika li ġejja:

SI + 2NaOH + H2O = Na2SIO3 + 2H2 ↑

Essenzjalment, il-proċess ta 'formazzjoni tas-suede huwa: soluzzjoni NaOH għal rata ta' korrużjoni differenti ta 'wiċċ tal-kristall differenti, (100) veloċità tal-korrużjoni tal-wiċċ minn (111), għalhekk (100) għall-wejfer tas-silikon monokristallina wara korrużjoni anisotropika, eventwalment iffurmata fuq il-wiċċ għal (111) Konu b'erba 'naħat, jiġifieri struttura "piramida" (kif muri fil-Figura 1). Wara li l-istruttura tkun iffurmata, meta d-dawl ikun inċident għall-inklinazzjoni tal-piramida f'ċertu angolu, id-dawl ikun rifless għall-inklinazzjoni f'angolu ieħor, li jifforma assorbiment sekondarju jew aktar, u b'hekk tnaqqas ir-riflettività fuq il-wiċċ tal-wejfer tas-silikon , jiġifieri, l-effett tan-nassa ħafifa (ara l-Figura 2). Iktar ma jkun aħjar id-daqs u l-uniformità tal-istruttura "piramida", iktar ikun ovvju l-effett tan-nassa, u iktar ma tkun baxxa l-wiċċ emitrat tal-wejfer tas-silikon.

Figura 1: Mikromorfoloġija tal-wejfer tas-silikon monokristallin wara produzzjoni alkali

Figura 2: Il-prinċipju tan-nassa ħafifa tal-istruttura “piramida”

Analiżi ta 'tibjid ta' kristall wieħed

Bl-iskannjar tal-mikroskopju elettroniku fuq il-wejfer tas-silikon abjad, instab li l-mikrostruttura tal-piramida tal-wejfer abjad fiż-żona ma kinitx bażikament mhux iffurmata, u l-wiċċ deher li kellu saff ta 'residwu ta' "xama ', filwaqt li l-istruttura tal-piramida tas-suede Fiż-żona bajda tal-istess wejfer tas-silikon ġiet iffurmata aħjar (ara l-Figura 3). Jekk hemm residwi fuq il-wiċċ tal-wejfer tas-silikon monokristallin, il-wiċċ se jkollu d-daqs tal-istruttura "piramida" taż-żona residwa u l-ġenerazzjoni tal-uniformità u l-effett taż-żona normali huwa insuffiċjenti, li jirriżulta f'rifferenza tal-wiċċ tal-bellus residwu huwa ogħla mill-erja normali, Żona b'riflettività għolja meta mqabbla maż-żona normali fil-viżwali riflessa bħala bajda. Kif jidher mill-forma ta 'distribuzzjoni taż-żona bajda, mhix forma regolari jew regolari f'żona kbira, iżda biss f'żoni lokali. Għandu jkun li t-tniġġis lokali fuq il-wiċċ tal-wejfer tas-silikon ma ġewx imnaddfa, jew li s-sitwazzjoni tal-wiċċ tal-wejfer tas-silikon hija kkawżata minn tniġġis sekondarju.

Figura 3: Tqabbil tad-differenzi reġjonali tal-mikrostruttura fil-wejfers tas-silikon bojod tal-bellus

Il-wiċċ tal-wajer tal-wajer tad-djamanti li jaqtgħu l-wejfer tas-silikon huwa aktar bla xkiel u l-ħsara hija iżgħar (kif muri fil-Figura 4). Meta mqabbel mal-wejfer tas-silikon tat-tikħil, il-veloċità tar-reazzjoni ta 'l-alkali u l-wajer tad-djamanti li jaqtgħu l-wiċċ tal-wejfer tas-silikon hija aktar bil-mod minn dik tal-wejfer tas-silikon monokristallin tat-tikħil, u għalhekk l-influwenza tar-residwi tal-wiċċ fuq l-effett tal-bellus hija aktar ovvja.

Figura 4: (a) Mikrografija tal-wiċċ tal-wejfer tas-silikon maqtugħ tat-tikħil (b) Mikrografija tal-wiċċ tal-wajer tal-wajer tad-djamanti maqtugħ

Is-sors residwu ewlieni tal-wiċċ tal-wejfer tas-silikon imqatta 'bil-wajer tad-djamanti

(1) Tkessaħ: Il-komponenti ewlenin tal-qtugħ tal-wajer tad-djamanti huma surfactant, dispersant, malafama u ilma u komponenti oħra. Il-likwidu tal-qtugħ b'rendiment eċċellenti għandu sospensjoni tajba, dispersjoni u kapaċità ta 'tindif faċli. Is-surfactants ġeneralment ikollhom proprjetajiet idrofiliċi aħjar, li huwa faċli biex jitnaddfu fil-proċess tat-tindif tal-wejfer tas-silikon. It-taħwid kontinwu u ċ-ċirkolazzjoni ta 'dawn l-addittivi fl-ilma jipproduċu numru kbir ta' ragħwa, li jirriżulta fit-tnaqqis tal-fluss tal-likwidu li jkessaħ, li jaffettwa l-prestazzjoni tat-tkessiħ, u l-fowm serju u anke problemi ta 'overflow tar-ragħwa, li jaffettwaw serjament l-użu. Għalhekk, il-likwidu li jkessaħ normalment jintuża mal-aġent li jiddefomaw. Sabiex tkun żgurata l-prestazzjoni li tiddefoma, is-silikon tradizzjonali u l-polyether huma ġeneralment idrofiliċi fqar. Is-solvent fl-ilma huwa faċli ħafna biex tassorbi u jibqa 'fuq il-wiċċ tal-wejfer tas-silikon fit-tindif sussegwenti, li jirriżulta fil-problema tal-post abjad. U mhux kompatibbli sew mal-komponenti ewlenin tal-likwidu li jkessaħ, għalhekk, għandu jsir f'żewġ komponenti, il-komponenti ewlenin u l-aġenti ta 'defoaming ġew miżjuda fl-ilma, fil-proċess ta' użu, skond is-sitwazzjoni tar-ragħwa, ma tistax tikkontrolla kwantitattivament il-kwantitattivament L-użu u d-doża ta 'aġenti antifoam, jistgħu faċilment jippermettu doża eċċessiva ta' aġenti ta 'l-anoaming, li jwassal għal żieda fir-residwi tal-wiċċ tal-wejfer tas-silikon, huwa wkoll aktar inkonvenjenti li wieħed jopera, madankollu, minħabba l-prezz baxx tal-materja prima u l-aġent li jiddefo Materjali, għalhekk, ħafna mill-likwidu li jkessaħ domestiku kollha jużaw din is-sistema tal-formula; Likwidu li jkessaħ ieħor juża aġent ta 'defoaming ġdid, jista' jkun kompatibbli sew mal-komponenti ewlenin, mingħajr żidiet, jista 'jikkontrolla b'mod effettiv u kwantitattivament l-ammont tiegħu, jista' effettivament jipprevjeni użu eċċessiv, l-eżerċizzji huwa wkoll konvenjenti ħafna li tagħmel, bil-proċess ta 'tindif xieraq, tagħha, tagħha Ir-residwi jistgħu jiġu kkontrollati għal livelli baxxi ħafna, fil-Ġappun u ftit manifatturi domestiċi jadottaw din is-sistema tal-formula, madankollu, minħabba l-ispiża għolja tal-materja prima tagħha, il-vantaġġ tal-prezz tiegħu mhuwiex ovvju.

(2) Kolla u Verżjoni tar-Reżina: Fl-istadju aktar tard tal-proċess ta 'qtugħ tal-wajer tad-djamanti, il-wejfer tas-silikon ħdejn it-tarf li jkun dieħel ġie maqtugħ minn qabel, il-wejfer tas-silikon fit-tarf tal-ħruġ għadu mhux maqtugħ, id-djamant bikri Il-wajer beda jaqta 's-saff tal-gomma u l-pjanċa tar-reżina, peress li l-kolla tal-virga tas-silikon u l-bord tar-reżina huma kemm prodotti tar-reżina epossidika, il-punt tat-trattib tiegħu huwa bażikament bejn 55 u 95 ℃, jekk il-punt tat-trattib tas-saff tal-gomma jew tar-reżina Il-pjanċa hija baxxa, tista 'tissaħħan faċilment matul il-proċess tal-qtugħ u tikkawża li ssir ratba u tidwiba, imwaħħla mal-wajer tal-azzar u l-wiċċ tal-wejfer tas-silikon, tikkawża li l-abilità tal-qtugħ tal-linja tad-djamanti naqset, jew il-wejfers tas-silikon jiġu riċevuti u Imtebba 'bir-reżina, ladarba mwaħħla, huwa diffiċli ħafna li tinħasel, tali kontaminazzjoni sseħħ l-aktar ħdejn it-tarf tat-tarf tal-wejfer tas-silikon.

(3) Trab tas-silikon: Fil-proċess ta 'qtugħ tal-wajer tad-djamanti se jipproduċi ħafna trab tas-silikon, bil-qtugħ, il-kontenut ta' trab tal-likwidu li jkessaħ se jkun dejjem aktar għoli, meta t-trab ikun kbir biżżejjed, se jaderixxi mal-wiċċ tas-silikon, Qtugħ tal-wajer tad-djamanti tad-daqs u d-daqs tat-trab tas-silikon iwassal għal assorbiment aktar faċli fuq il-wiċċ tas-silikon, jagħmluha diffiċli biex titnaddaf. Għalhekk, żgura l-aġġornament u l-kwalità tal-likwidu li jkessaħ u tnaqqas il-kontenut tat-trab fil-likwidu li jkessaħ.

(4) Aġent tat-Tindif: L-użu attwali tal-manifatturi tal-qtugħ tal-wajer tad-djamanti l-aktar li jużaw qtugħ ta 'mehrież fl-istess ħin, l-aktar jużaw qtugħ ta' mehrież ta 'qabel il-qtugħ, proċess ta' tindif u aġent tat-tindif, eċċ., Teknoloġija ta 'qtugħ tal-wajer tad-djamanti wieħed mill-mekkaniżmu ta' qtugħ, forma Sett sħiħ ta 'qtugħ tal-linja, likwidu li jkessaħ u mehrież għandhom differenza kbira, u għalhekk il-proċess ta' tindif korrispondenti, dożaġġ ta 'aġent tat-tindif, formula, eċċ għandu jkun għal qtugħ tal-wajer tad-djamanti jagħmel l-aġġustament korrispondenti. Aġent tat-tindif huwa aspett importanti, il-formula tal-aġent tat-tindif oriġinali, l-alkalinità mhix adatta għat-tindif tal-wajer tad-djamanti li jaqtgħu l-wejfer tas-silikon, għandu jkun għall-wiċċ tal-wejfer tas-silikon tal-wajer tad-djamanti, il-kompożizzjoni u r-residwi tal-wiċċ ta 'aġent tat-tindif immirat, u ħu miegħu il-proċess tat-tindif. Kif imsemmi hawn fuq, il-kompożizzjoni ta 'aġent ta' defoaming mhix meħtieġa fil-qtugħ tat-tikħil.

(5) Ilma: Qtugħ tal-wajer tad-djamanti, ħasil minn qabel u tindif ta 'ilma li jfixkel fih impuritajiet, jista' jkun assorbit mal-wiċċ tal-wejfer tas-silikon.

Naqqas il-problema li tagħmel ix-xagħar tal-bellus abjad jidher suġġerimenti

(1) biex tuża l-likwidu li jkessaħ bi tixrid tajjeb, u l-likwidu li jkessaħ huwa meħtieġ juża l-aġent ta 'defoaming ta' residwu baxx biex inaqqas ir-residwu tal-komponenti tal-likwidu li jkessaħ fuq il-wiċċ tal-wejfer tas-silikon;

(2) Uża kolla xierqa u pjanċa tar-reżina biex tnaqqas it-tniġġis tal-wejfer tas-silikon;

(3) il-likwidu li jkessaħ huwa dilwit b'ilma pur biex jiżgura li ma jkunx hemm impuritajiet residwi faċli fl-ilma użat;

(4) Għall-wiċċ tal-wafer tas-silikon maqtugħ bil-wajer tad-djamanti, uża attività u effett ta 'tindif aġent tat-tindif aktar adattat;

(5) Uża s-sistema ta 'rkupru onlajn tal-likwidu tad-djamanti biex tnaqqas il-kontenut ta' trab tas-silikon fil-proċess tal-qtugħ, sabiex tikkontrolla b'mod effettiv ir-residwu tat-trab tas-silikon fuq il-wiċċ tal-wejfer tas-silikon tal-wejfer. Fl-istess ħin, tista 'wkoll iżżid it-titjib tat-temperatura tal-ilma, il-fluss u l-ħin fil-ħasil ta' qabel, biex tiżgura li t-trab tas-silikon jinħasel fil-ħin

(6) Ladarba l-wejfer tas-silikon jitqiegħed fuq il-mejda tat-tindif, dan għandu jiġi ttrattat immedjatament, u żomm il-wejfer tas-silikon imxarrab matul il-proċess kollu tat-tindif.

(7) Il-wejfer tas-silikon iżomm il-wiċċ imxarrab fil-proċess tad-deguming, u ma jistax jinxef b'mod naturali. (8) Fil-proċess tat-tindif tal-wejfer tas-silikon, il-ħin espost fl-arja jista 'jitnaqqas kemm jista' jkun biex tiġi evitata l-produzzjoni tal-fjuri fuq il-wiċċ tal-wejfer tas-silikon.

(9) Il-persunal tat-tindif m'għandux jikkuntattja direttament il-wiċċ tal-wejfer tas-silikon matul il-proċess kollu tat-tindif, u għandu jilbes ingwanti tal-gomma, sabiex ma jipproduċix stampar tal-marki tas-swaba '.

(10) F'referenza [2], it-tarf tal-batterija juża l-proċess ta 'tindif tal-perossidu H2O2 + alkali NaOH skond il-proporzjon tal-volum ta' 1:26 (3% soluzzjoni NaOH), li jista 'jnaqqas b'mod effettiv l-okkorrenza tal-problema. Il-prinċipju tiegħu huwa simili għas-soluzzjoni tat-tindif SC1 (magħruf komunement bħala likwidu 1) ta 'wejfer tas-silikon semikonduttur. Il-mekkaniżmu ewlieni tiegħu: il-film ta 'ossidazzjoni fuq il-wiċċ tal-wejfer tas-silikon huwa ffurmat bl-ossidazzjoni ta' H2O2, li hija korrodata minn NaOH, u l-ossidazzjoni u l-korrużjoni jseħħu ripetutament. Għalhekk, il-partiċelli mwaħħlin mat-trab tas-silikon, ir-reżina, il-metall, eċċ.) Jaqgħu wkoll fil-likwidu tat-tindif bis-saff tal-korrużjoni; Minħabba l-ossidazzjoni ta 'H2O2, il-materja organika fuq il-wiċċ tal-wejfer hija dekomposta f'CO2, H2O u mneħħija. Dan il-proċess ta 'tindif kien manifatturi tal-wejfer tas-silikon bl-użu ta' dan il-proċess biex jipproċessa t-tindif tal-wajer tal-wajer tad-djamanti li jaqtgħu l-wejfer tas-silikon monokristallin, il-wejfer tas-silikon fil-domestiċi u t-Tajwan u manifatturi oħra tal-batteriji bl-użu tal-lott tal-bellus tal-bellus. Hemm ukoll il-manifatturi tal-batteriji użaw proċess ta 'qabel it-tindif tal-bellus, jikkontrollaw ukoll b'mod effettiv id-dehra ta' Velvet White. Jista 'jidher li dan il-proċess ta' tindif huwa miżjud fil-proċess ta 'tindif tal-wejfer tas-silikon biex jitneħħa r-residwu tal-wejfer tas-silikon sabiex issolvi b'mod effettiv il-problema tax-xagħar abjad fit-tarf tal-batterija.

Konklużjoni

Fil-preżent, il-qtugħ tal-wajer tad-djamanti sar it-teknoloġija ewlenija tal-ipproċessar fil-qasam tal-qtugħ tal-kristall wieħed, iżda fil-proċess tal-promozzjoni tal-problema li tagħmel Velvet White kienet inkwetanti tal-wejfer tas-silikon u l-manifatturi tal-batteriji, u dan wassal biex manifatturi tal-batteriji għall-qtugħ tal-wajer tad-djamanti silikon Wafer għandu xi reżistenza. Permezz tal-analiżi tal-paragun taż-żona bajda, huwa kkawżat prinċipalment mir-residwu fuq il-wiċċ tal-wejfer tas-silikon. Sabiex tevita aħjar il-problema tal-wejfer tas-silikon fiċ-ċellula, dan id-dokument janalizza s-sorsi possibbli ta 'tniġġis tal-wiċċ tal-wejfer tas-silikon, kif ukoll is-suġġerimenti u l-miżuri ta' titjib fil-produzzjoni. Skond in-numru, ir-reġjun u l-għamla ta 'tikek bojod, il-kawżi jistgħu jiġu analizzati u mtejba. Huwa speċjalment irrakkomandat li tuża proċess ta 'tindif tal-perossidu tal-idroġenu + alkali. L-esperjenza ta 'suċċess wriet li tista' tipprevjeni b'mod effettiv il-problema tal-wajer tal-wajer tad-djamanti li jbajdu l-bellus, għar-referenza tal-persuni ġenerali tal-industrija u tal-manifatturi.