aħbarijiet

It-teknoloġija tat-tqattigħ bil-wajer tad-djamanti hija magħrufa wkoll bħala teknoloġija tat-tqattigħ b'abrażiv konsolidat. Huwa l-użu ta' metodu ta' electroplating jew twaħħil tar-reżina ta' abrażiv tad-djamanti kkonsolidat fuq il-wiċċ tal-wajer tal-azzar, fejn il-wajer tad-djamanti jaġixxi direttament fuq il-wiċċ ta' virga tas-silikon jew ingott tas-silikon biex jipproduċi tħin, biex jinkiseb l-effett tat-tqattigħ. It-tqattigħ bil-wajer tad-djamanti għandu l-karatteristiċi ta' veloċità mgħaġġla tat-tqattigħ, preċiżjoni għolja tat-tqattigħ u telf baxx ta' materjal.

Fil-preżent, is-suq tal-kristall wieħed għall-wejfer tas-silikon li jaqtgħu l-wajer tad-djamanti ġie aċċettat bis-sħiħ, iżda ltaqgħet ukoll ma' problemi komuni fil-proċess ta' promozzjoni, fosthom l-abjad bellusin. Fid-dawl ta' dan, dan id-dokument jiffoka fuq kif tiġi evitata l-problema tal-abjad bellusin tal-wejfer tas-silikon monokristallin li jaqtgħu l-wajer tad-djamanti.

Il-proċess tat-tindif tal-wejfer tas-silikon monokristallin li jaqta' bil-wajer tad-djamanti huwa li jitneħħa l-wejfer tas-silikon maqtugħ mill-għodda tal-magna tas-serrieq tal-wajer mill-pjanċa tar-reżina, titneħħa l-istrixxa tal-gomma, u jitnaddaf il-wejfer tas-silikon. It-tagħmir tat-tindif huwa prinċipalment magna ta' qabel it-tindif (magna tat-tneħħija tal-gomma) u magna tat-tindif. Il-proċess ewlieni tat-tindif tal-magna ta' qabel it-tindif huwa: tmigħ-sprej-sprej-tindif ultrasoniku-tneħħija tal-gomma-tlaħliħ bl-ilma nadif-nuqqas ta' tmigħ. Il-proċess ewlieni tat-tindif tal-magna tat-tindif huwa: tmigħ-tlaħliħ bl-ilma pur-tlaħliħ bl-ilma pur-ħasil bl-alkali-ħasil bl-alkali-tlaħliħ bl-ilma pur-tlaħliħ bl-ilma pur-pre-deidratazzjoni (irfigħ bil-mod)-tnixxif-tmigħ.

Il-prinċipju tal-manifattura tal-bellus b'kristall wieħed

Il-wejfer tas-silikon monokristallin huwa karatteristika tal-korrużjoni anisotropika tal-wejfer tas-silikon monokristallin. Il-prinċipju tar-reazzjoni huwa l-ekwazzjoni tar-reazzjoni kimika li ġejja:

Si + 2NaOH + H2O = Na2SiO3 + 2H2↑

Essenzjalment, il-proċess tal-formazzjoni tas-suede huwa: soluzzjoni NaOH għal rata ta' korrużjoni differenti ta' wiċċ tal-kristall differenti, (100) veloċità ta' korrużjoni tal-wiċċ minn (111), għalhekk (100) għall-wejfer tas-silikon monokristallin wara korrużjoni anisotropika, eventwalment iffurmat fuq il-wiċċ għal (111) kon b'erba' naħat, jiġifieri struttura "piramidali" (kif muri fil-figura 1). Wara li tiġi ffurmata l-istruttura, meta d-dawl ikun inċidentali mal-inklinazzjoni tal-piramida f'ċertu Angolu, id-dawl jiġi rifless lejn l-inklinazzjoni f'Angolu ieħor, u jifforma assorbiment sekondarju jew aktar, u b'hekk inaqqas ir-riflettività fuq il-wiċċ tal-wejfer tas-silikon, jiġifieri, l-effett tan-nassa tad-dawl (ara l-Figura 2). Iktar ma jkun tajjeb id-daqs u l-uniformità tal-istruttura "piramidali", iktar ikun ovvju l-effett tan-nassa, u iktar ma jkun baxx l-emissjoni tal-wiċċ tal-wejfer tas-silikon.

Figura 1: Mikromorfoloġija ta' wejfer tas-silikon monokristallin wara l-produzzjoni tal-alkali

Figura 2: Il-prinċipju tan-nassa tad-dawl tal-istruttura tal-“piramida”

Analiżi tat-tibjid ta' kristall wieħed

Permezz ta' mikroskopju elettroniku tal-iskannjar fuq il-wejfer tas-silikon abjad, instab li l-mikrostruttura piramidali tal-wejfer abjad fiż-żona bażikament ma kinitx iffurmata, u l-wiċċ deher li kellu saff ta' residwu "xama'", filwaqt li l-istruttura piramidali tas-suede fiż-żona bajda tal-istess wejfer tas-silikon kienet iffurmata aħjar (ara l-Figura 3). Jekk ikun hemm residwi fuq il-wiċċ tal-wejfer tas-silikon monokristallin, il-wiċċ ikollu żona residwa ta' daqs u uniformità tal-istruttura "piramidali" u l-ġenerazzjoni tal-effett taż-żona normali ma tkunx biżżejjed, li tirriżulta f'riflettività tal-wiċċ bellusi residwa ogħla miż-żona normali, iż-żona b'riflettività għolja meta mqabbla maż-żona normali fil-viżwali riflessa bħala bajda. Kif jidher mill-forma tad-distribuzzjoni taż-żona bajda, mhijiex forma regolari jew regolari f'żona kbira, iżda biss f'żoni lokali. Għandu jkun li t-tniġġis lokali fuq il-wiċċ tal-wejfer tas-silikon ma ġiex imnaddaf, jew is-sitwazzjoni tal-wiċċ tal-wejfer tas-silikon hija kkawżata minn tniġġis sekondarju.

Figura 3: Paragun tad-differenzi reġjonali fil-mikrostruttura f'wejfers tas-silikon abjad bellusin

Il-wiċċ tal-wejfer tas-silikon li jaqta' l-wajer tad-djamanti huwa aktar lixx u l-ħsara hija iżgħar (kif muri fil-Figura 4). Meta mqabbel mal-wejfer tas-silikon tal-mehries, il-veloċità tar-reazzjoni tal-alkali u l-wiċċ tal-wejfer tas-silikon li jaqta' l-wajer tad-djamanti hija aktar bil-mod minn dik tal-wejfer tas-silikon monokristallin li jaqta' l-mehries, għalhekk l-influwenza tar-residwi tal-wiċċ fuq l-effett tal-bellus hija aktar ovvja.

Figura 4: (A) Mikrografu tal-wiċċ ta' wejfer tas-silikon maqtugħ bil-mehries (B) mikrografu tal-wiċċ ta' wejfer tas-silikon maqtugħ bil-wajer tad-djamanti

Is-sors residwu ewlieni tal-wiċċ tal-wejfer tas-silikon maqtugħ bil-wajer tad-djamanti

(1) Likwidu li jkessaħ: il-komponenti ewlenin tal-likwidu li jkessaħ għat-tqattigħ tal-wajer tad-djamanti huma surfactant, dispersant, aġent li jneħħi r-ragħwa u ilma u komponenti oħra. Il-likwidu tat-tqattigħ b'prestazzjoni eċċellenti għandu sospensjoni tajba, dispersjoni u kapaċità faċli għat-tindif. Is-surfactants ġeneralment ikollhom proprjetajiet idrofiliċi aħjar, li huma faċli biex jitnaddfu fil-proċess tat-tindif tal-wejfer tas-silikon. It-taħwid u ċ-ċirkolazzjoni kontinwi ta' dawn l-addittivi fl-ilma jipproduċu ammont kbir ta' ragħwa, li tirriżulta fit-tnaqqis tal-fluss tal-likwidu li jkessaħ, li jaffettwa l-prestazzjoni tat-tkessiħ, u problemi serji ta' ragħwa u anke tifwir tar-ragħwa, li jaffettwaw serjament l-użu. Għalhekk, il-likwidu li jkessaħ ġeneralment jintuża mal-aġent li jneħħi r-ragħwa. Sabiex tiġi żgurata l-prestazzjoni li tneħħi r-ragħwa, is-silikon u l-polietere tradizzjonali ġeneralment huma idrofiliċi fqar. Is-solvent fl-ilma huwa faċli ħafna biex jiġi assorbit u jibqa' fuq il-wiċċ tal-wejfer tas-silikon fit-tindif sussegwenti, li jirriżulta fil-problema ta' tikek bojod. U mhuwiex kompatibbli sew mal-komponenti ewlenin tal-likwidu li jkessaħ, Għalhekk, irid isir f'żewġ komponenti, Il-komponenti ewlenin u l-aġenti kontra r-ragħwa ġew miżjuda fl-ilma, Fil-proċess tal-użu, skont is-sitwazzjoni tar-ragħwa, Ma jistax jiġi kkontrollat ​​kwantitattivament l-użu u d-dożaġġ tal-aġenti kontra r-ragħwa, Jista 'faċilment jippermetti doża eċċessiva ta' aġenti kontra r-ragħwa, Iwassal għal żieda fir-residwi tal-wiċċ tal-wejfer tas-silikon, Huwa wkoll aktar inkonvenjenti biex jitħaddem, Madankollu, minħabba l-prezz baxx tal-materja prima u l-materja prima tal-aġent kontra r-ragħwa, Għalhekk, il-biċċa l-kbira tal-likwidu li jkessaħ domestiku juża din is-sistema ta' formula; Likwidu li jkessaħ ieħor juża aġent kontra r-ragħwa ġdid, Jista 'jkun kompatibbli sew mal-komponenti ewlenin, L-ebda żidiet, Jista 'jikkontrolla b'mod effettiv u kwantitattiv l-ammont tiegħu, Jista 'jipprevjeni b'mod effettiv l-użu eċċessiv, L-eżerċizzju huwa wkoll konvenjenti ħafna biex isir, Bil-proċess ta 'tindif xieraq, Ir-residwi tiegħu jistgħu jiġu kkontrollati għal livelli baxxi ħafna, Fil-Ġappun u ftit manifatturi domestiċi jadottaw din is-sistema ta' formula, Madankollu, minħabba l-ispiża għolja tal-materja prima tiegħu, Il-vantaġġ tal-prezz tiegħu mhux ovvju.

(2) Verżjoni bil-kolla u r-reżina: fl-istadju aktar tard tal-proċess tat-tqattigħ tal-wajer tad-djamanti, il-wejfer tas-silikon ħdejn it-tarf li jkun dieħel ikun inqata’ minn qabel, il-wejfer tas-silikon fit-tarf tal-ħruġ ikun għadu mhux maqtugħ, il-wajer tad-djamanti maqtugħ bikri jkun beda jaqta’ mas-saff tal-gomma u l-pjanċa tar-reżina, peress li l-kolla tal-virga tas-silikon u l-bord tar-reżina huma t-tnejn prodotti tar-reżina epossidika, il-punt tat-trattib tiegħu huwa bażikament bejn 55 u 95 ℃, jekk il-punt tat-trattib tas-saff tal-gomma jew tal-pjanċa tar-reżina jkun baxx, jista’ faċilment jisħon waqt il-proċess tat-tqattigħ u jikkawża li jirtab u jdub, imwaħħal mal-wajer tal-azzar u l-wiċċ tal-wejfer tas-silikon, jikkawża li l-abbiltà tat-tqattigħ tal-linja tad-djamanti tonqos, jew il-wejfers tas-silikon jiġu riċevuti u mtebbgħin bir-reżina, ladarba jkunu mwaħħla, ikun diffiċli ħafna li tinħasel, kontaminazzjoni bħal din isseħħ l-aktar ħdejn it-tarf tat-tarf tal-wejfer tas-silikon.

(3) trab tas-silikon: fil-proċess tat-tqattigħ tal-wajer tad-djamanti, se jiġi prodott ħafna trab tas-silikon. Bit-tqattigħ, il-kontenut tat-trab tal-likwidu li jkessaħ tat-tikħil se jkun dejjem ogħla. Meta t-trab ikun kbir biżżejjed, se jaderixxi mal-wiċċ tas-silikon, u t-tqattigħ tal-wajer tad-djamanti b'daqs u ħxuna akbar iwassal għal assorbiment aktar faċli fuq il-wiċċ tas-silikon, u jagħmilha diffiċli biex titnaddaf. Għalhekk, għandu jiġi żgurat li l-likwidu li jkessaħ jiġi aġġornat u l-kwalità tiegħu għandhom jitnaqqsu.

(4) aġent tat-tindif: l-użu attwali tal-manifatturi tat-tqattigħ tal-wajer tad-djamanti l-aktar jużaw it-tikħil tat-tqattigħ fl-istess ħin, l-aktar jużaw pre-ħasil tat-tqattigħ tat-tikħil, proċess ta' tindif u aġent tat-tindif, eċċ., teknoloġija waħda tat-tqattigħ tal-wajer tad-djamanti mill-mekkaniżmu tat-tqattigħ, jiffurmaw sett komplut ta' linja, likwidu li jkessaħ u qtugħ tat-tikħil għandhom differenza kbira, għalhekk il-proċess tat-tindif korrispondenti, id-dożaġġ tal-aġent tat-tindif, il-formula, eċċ għandhom ikunu għat-tqattigħ tal-wajer tad-djamanti jagħmlu l-aġġustament korrispondenti. L-aġent tat-tindif huwa aspett importanti, is-surfactant tal-formula oriġinali tal-aġent tat-tindif, l-alkalinità mhix adattata għat-tindif tal-wejfer tas-silikon tat-tqattigħ tal-wajer tad-djamanti, għandha tkun għall-wiċċ tal-wejfer tas-silikon tal-wajer tad-djamanti, il-kompożizzjoni u r-residwi tal-wiċċ tal-aġent tat-tindif immirat, u tieħu mal-proċess tat-tindif. Kif imsemmi hawn fuq, il-kompożizzjoni tal-aġent kontra r-ragħwa mhix meħtieġa fit-tqattigħ tat-tikħil.

(5) Ilma: l-ilma żejjed li jintuża fit-tqattigħ tal-wajer tad-djamanti, fil-ħasil minn qabel u fit-tindif fih impuritajiet, u jista' jiġi assorbit mal-wiċċ tal-wejfer tas-silikon.

Suġġerimenti biex tnaqqas il-problema li tagħmel ix-xagħar bellusi abjad jidher

(1) Biex tuża l-likwidu li jkessaħ b'dispersjoni tajba, u l-likwidu li jkessaħ huwa meħtieġ li tuża l-aġent kontra r-ragħwa b'residwi baxxi biex tnaqqas ir-residwu tal-komponenti tal-likwidu li jkessaħ fuq il-wiċċ tal-wejfer tas-silikon;

(2) Uża kolla u pjanċa tar-reżina xierqa biex tnaqqas it-tniġġis tal-wejfer tas-silikon;

(3) Il-likwidu li jkessaħ jiġi dilwit b'ilma pur biex jiġi żgurat li ma jkunx hemm impuritajiet residwi faċli fl-ilma użat;

(4) Għall-wiċċ tal-wejfer tas-silikon maqtugħ bil-wajer tad-djamanti, uża aġent tat-tindif aktar adattat għall-attività u l-effett tat-tindif;

(5) Uża s-sistema ta' rkupru online tal-likwidu li jkessaħ tal-linja tad-djamanti biex tnaqqas il-kontenut tat-trab tas-silikon fil-proċess tat-tqattigħ, sabiex tikkontrolla b'mod effettiv ir-residwu tat-trab tas-silikon fuq il-wiċċ tal-wejfer tas-silikon. Fl-istess ħin, tista' wkoll iżżid it-titjib tat-temperatura tal-ilma, il-fluss u l-ħin fil-pre-ħasil, biex tiżgura li t-trab tas-silikon jinħasel fil-ħin.

(6) Ladarba l-wejfer tas-silikon jitqiegħed fuq il-mejda tat-tindif, irid jiġi ttrattat immedjatament, u l-wejfer tas-silikon jinżamm imxarrab matul il-proċess kollu tat-tindif.

(7) Il-wejfer tas-silikon iżomm il-wiċċ imxarrab fil-proċess tat-tneħħija tal-gomma, u ma jistax jinxef b'mod naturali. (8) Fil-proċess tat-tindif tal-wejfer tas-silikon, il-ħin espost fl-arja jista' jitnaqqas kemm jista' jkun biex tiġi evitata l-formazzjoni tal-fjuri fuq il-wiċċ tal-wejfer tas-silikon.

(9) L-istaff tat-tindif m'għandux ikun f'kuntatt dirett mal-wiċċ tal-wejfer tas-silikon matul il-proċess kollu tat-tindif, u għandu jilbes ingwanti tal-gomma, sabiex ma jipproduċix marki tas-swaba'.

(10) Fir-referenza [2], it-tarf tal-batterija juża proċess ta' tindif bil-perossidu tal-idroġenu H2O2 + alkali NaOH skont il-proporzjon tal-volum ta' 1:26 (soluzzjoni ta' 3% NaOH), li jista' jnaqqas b'mod effettiv l-okkorrenza tal-problema. Il-prinċipju tiegħu huwa simili għas-soluzzjoni tat-tindif SC1 (magħrufa komunement bħala likwidu 1) ta' wejfer tas-silikon semikonduttur. Il-mekkaniżmu ewlieni tiegħu: il-film ta' ossidazzjoni fuq il-wiċċ tal-wejfer tas-silikon huwa ffurmat mill-ossidazzjoni tal-H2O2, li huwa msadda minn NaOH, u l-ossidazzjoni u l-korrużjoni jseħħu ripetutament. Għalhekk, il-partiċelli mwaħħla mat-trab tas-silikon, ir-reżina, il-metall, eċċ.) jaqgħu wkoll fil-likwidu tat-tindif bis-saff tal-korrużjoni; minħabba l-ossidazzjoni tal-H2O2, il-materja organika fuq il-wiċċ tal-wejfer tiġi dekomposta f'CO2, H2O u mneħħija. Dan il-proċess ta' tindif ilu jintuża mill-manifatturi tal-wejfers tas-silikon biex jipproċessaw it-tindif tal-wajer tad-djamanti li jaqtgħu l-wejfers tas-silikon monokristallini, wejfers tas-silikon fid-dar u fit-Tajwan u manifatturi oħra ta' batteriji li jużaw ilmenti dwar problemi ta' velvet white. Hemm ukoll manifatturi tal-batteriji li użaw proċess simili ta' tindif minn qabel tal-bellus, li jikkontrolla wkoll b'mod effettiv id-dehra tal-velvet white. Jista' jidher li dan il-proċess ta' tindif jiżdied fil-proċess ta' tindif tal-wejfer tas-silikon biex jitneħħa r-residwu tal-wejfer tas-silikon sabiex tissolva b'mod effettiv il-problema tax-xagħar abjad fit-tarf tal-batterija.

konklużjoni

Fil-preżent, it-tqattigħ tal-wajer tad-djamanti sar it-teknoloġija ewlenija tal-ipproċessar fil-qasam tat-tqattigħ tal-kristall wieħed, iżda fil-proċess tal-promozzjoni tal-problema tal-produzzjoni tal-bellus abjad ilha tinkwieta lill-manifatturi tal-wejfers tas-silikon u tal-batteriji, u wassal biex il-manifatturi tal-batteriji jsibu xi reżistenza għat-tqattigħ tal-wajer tad-djamanti tal-wejfers tas-silikon. Permezz tal-analiżi tat-tqabbil taż-żona bajda, din hija prinċipalment ikkawżata mir-residwu fuq il-wiċċ tal-wejfer tas-silikon. Sabiex tiġi evitata aħjar il-problema tal-wejfers tas-silikon fiċ-ċellula, dan id-dokument janalizza s-sorsi possibbli ta' tniġġis tal-wiċċ tal-wejfers tas-silikon, kif ukoll is-suġġerimenti u l-miżuri ta' titjib fil-produzzjoni. Skont in-numru, ir-reġjun u l-għamla tat-tikek bojod, il-kawżi jistgħu jiġu analizzati u mtejba. Huwa speċjalment rakkomandat li jintuża proċess ta' tindif bil-perossidu tal-idroġenu + alkali. L-esperjenza ta' suċċess uriet li jista' jipprevjeni b'mod effettiv il-problema tat-tqattigħ tal-wajer tad-djamanti tal-produzzjoni tal-bellus abjad tal-wejfers tas-silikon, għar-referenza tal-industrija ġenerali u l-manifatturi.